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GYS-3F是一款二通道混氣系統(tǒng)（1單獨(dú)2混氣），用于情性氣體的控制，可用于管式爐、等離子清洗機(jī)、CVD系統(tǒng)、小型PECVD系統(tǒng)等。
GYS-4F是一款二通道混氣系統(tǒng)（1單獨(dú)3混氣），用于情性氣體的控制，可用于管式爐、等離子清洗機(jī)、CVD系統(tǒng)、小型PECVD系統(tǒng)等。
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?浮子流量計(jì)量程：10-100mL/min 、16-160mL/min、25-250mL/min
?精度：4%
?壓力表量程：-0.1-0.15MPa
?通氣管道：φ6.35mm的聚四氟管
?選配：浮子流量計(jì)量程可選配，5-50mL/min、50-500mL/min、0.1-1mL/min等可定制。
?混氣罐尺寸：φ76*長154mm
?外形尺寸：長610mm*寬610mm*高710mm
?重量：約30Kg
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- 詳細(xì)描述：
技 術(shù) 資 料
產(chǎn)品型號(hào)
?供氣系統(tǒng) GYS-2F/3F/4F
產(chǎn)品特點(diǎn)
?適用于低壓小流量，多種氣體單一/混合連續(xù)供氣系統(tǒng)。
?尤其方便多種氣體的切換使用，而不會(huì)造成大氣進(jìn)入加熱管。
?氣體壓力和流量數(shù)據(jù)在同一平面直觀可讀，外形美觀、實(shí)用，操作簡便。
?顯示流量準(zhǔn)確，可有效控制氣體的消耗量
?設(shè)備底部有滾動(dòng)輪，方便移動(dòng)使用方便，無需通電
產(chǎn)品參數(shù)
?浮子流量計(jì)量程：10-100mL/min 、16-160mL/min、25-250mL/min；
?精度：4%
?壓力表量程：-0.1-0.15MPa
?通氣管道：φ6.35mm的聚四氟管
?選配：浮子流量計(jì)量程可選配，5-50mL/min、50-500mL/min、0.1-1mL/min等可定制。
混氣罐
?內(nèi)置一個(gè)不銹鋼混氣罐，可更好的混合氣體
?混氣罐尺寸：直徑76*長154mm
氣口/閥門
?背面的進(jìn)氣與出氣口均為φ6.35的卡套接頭，進(jìn)氣口通過四氟管連接氣瓶，出氣口通過四氟管連接到設(shè)備的進(jìn)氣口
?兩個(gè)通道氣體進(jìn)入混氣罐混氣，一個(gè)氣體通道獨(dú)立
?前面板的四個(gè)不銹鋼針閥控制氣體的進(jìn)出，獨(dú)立通道的進(jìn)出氣不受針閥控制。
產(chǎn)品尺寸
?外形尺寸：長610mm*寬610mm*高710mm
?重量：約30Kg
售后
?質(zhì)保期一年，終身維護(hù)；24小時(shí)在線服務(wù)
免責(zé)聲明
?本產(chǎn)品介紹內(nèi)容（包括產(chǎn)品圖片、產(chǎn)品描述、技術(shù)參數(shù)等）僅供參考。如果您對(duì)參數(shù)有異議，或者想了解產(chǎn)品詳細(xì)信息，請與我司銷售人員聯(lián)系。本信息不構(gòu)成任何要約或承諾，我司會(huì)不定期完善產(chǎn)品，恕不另行通知，請您見諒。
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